真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,包括真空离子蒸发镀膜机、磁控溅镀膜机射、MBE分子束外延镀膜机和PLD激光溅射沉积镀膜机等很多种。主要是分成蒸发和溅射两种。在真空镀膜设备中需要镀膜的被成为基片,镀的材料被成为靶材。基片与靶材同在真空腔中。蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并且沉降在基片表面,通过成膜过程形成薄膜。
随着科技和经济的提升,各种类型各种镀膜工艺的真空镀膜设备在不断的增加,其功能也越来越完善。
真空镀膜设备普遍应用于工业生产,在与待镀工件形成薄膜的过程中,可以地测量和控制蒸发或溅射成膜材料的膜厚,从而保证膜厚的均匀性。磁控镀膜机的真空镀膜技术的特点主要包括真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜、真空离子镀、真空束沉积和化学气相沉积。
磁控溅射镀膜机
各种镀膜技术都需要一个蒸发源或蒸发靶,以便将蒸发的成膜物质转化为气体。随着来源或目标的不断提高,电影制作材料的选择范围也大大扩大。无论是金属、合金、化合物、陶瓷还是有机物,都可以气相沉积各种金属膜和介质膜,不同的材料可以同时气相沉积得到多层膜。
蒸发或溅射出的成膜材料是在一般磁控溅射条件下与待镀工件形成膜的过程。膜厚可以测量和控制。磁控镀膜机的真空镀膜技术的特点主要包括真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜、真空离子镀、真空束沉积和化学气相沉积。
真空镀膜机在真空环境中利用电阻加热将金属丝(铝、铜、钛)雾化,雾化后分子沉积于玻璃、亚克力、塑料表面形成金属化反射面。镀金、镀烙的理想设备。
真空镀膜机注意事项
1、设备接地必须可靠,并经常检查接地装置导电作用。
2、扩散泵和油增压泵加热前必须接通冷却水,泵停止工作,但泵内示冷却至80摄氏度以下时,不得切断冷却水,以防止泵芯烧毁。
3、扩散泵和油增压泵在加热情况下,切勿与大气接触,以免泵油氧化。